建立于1958年，隸屬于微電子科學系。該專業培養具有堅實的數理基礎，掌握微電子專業基本理論和實驗技術，掌握集成電路和集成系統以及其他新型半導體器件的設計方法和制造工藝，熟悉電子技術和計算機技術，具有一定的科學研究和實際工作能力的科學技術和工程技術人才。微電子學專業的課程主要有數學物理基礎（高等數學、基礎物理和現代物理）、電子電路基礎（模擬電路、數字電路和電路實驗等）、計算機和軟件技術（計算機概論、微機原理、計算機系統與結構等）和專業課（半導體物理、半導體器件物理、集成電路原理和設計、集成電路工藝等）等四大類。該專業畢業生的主要去向是報考微電子學、固體電子學、通信、計算機科學等學科的研究生，到集成電路制造廠家、集成電路設計中心以及通信和計算機等信息科學技術領域從事開發和研究工作。

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